産業ガスが持つ特性を有効利用して、生産効率化や技術高度化に貢献するガス利用機器・装置を提案しています。
搬送機付リモート型大気圧プラズマ装置
従来、真空プロセスが必要であったプラズマ反応を大気圧下で安定して発生させる技術を確立しています。
また、ガラスや基板にプラズマを吹き付けて洗浄する「リモート型」と、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型」、面状サンプルのみでなく、チューブ状サンプル処理可能な「チューブ処理型」の3方式の装置を商品化しました。
これまで蓄積した各種ガス応用技術との組み合わせにより、製品の品質と生産性の向上を達成する新しいソリューションをご提案いたします。
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リモート型
◆用途
液晶ガラスや回路、ウエハ―基板を高速で洗浄、表面改質◆特徴
・窒素+酸素を使用
・連続処理
・低ランニングコスト
・ダメージフリー
・メンテナンスフリー
・大型化対応（～第8世代液晶ガラス） -
ダイレクト型
◆用途
フィルムの高速表面改質◆特徴
・アルゴンなどの希ガスを使用
・ガス種のノウハウ蓄積により、
様々な表面改質に適応
（親水、撥水など）
・高速、連続処理で
高スループットを表現 -
チューブ処理型
◆用途
チューブ状サンプル◆特徴
・チューブ内面、外面を選択的に
処理可能
・希ガスを使用
・チューブ押し出し成型機を組み
合わせることで連続処理可能
・カテーテル、輸液チューブなど
を医療用サンプルに適用可能
ドライアイススノーは、ドライアイス微粒子を利用して、基板上のミクロンオーダーの有機物などの異物を洗浄するドライ洗浄装置です。
◆用途
モバイル部品、HDD、半導体デバイス、イメージセンサー、電子部品
◆特徴
・ドライプロセス（廃水廃液不要）
・ダメージレス洗浄
・種々のノズルラインナップ（粒径制御、広角タイ
プ）
・低ランニングコスト
「CO-JET™ 」システムは米国Praxair社が開発した酸素吹込機能をもった電気炉向けの多機能酸素バーナーシステムです。溶解を強力に促進し、収束した高速の酸素ガス流を射出して効率よく溶鋼への酸素吹込を行います。
本システムの導入により、電力削減、生産性向上、作業軽減、安全性向上が図れる他、運転自動化により操業安定性及び品質向上にも寄与します。
「CO-JET™ 」システムは既に世界で150炉以上の導入実績を有しています。
◆用途
製鋼用電気炉
（実績：15～350t炉、AC・DC、バッチ・コンスチール・シャフト）
◆特徴
・安全操業
・溶解時間（Tap時間）の短縮（熱損失が少ない+酸素バーナーの効果）
・品質安定（均一なスラグ泡⇒不純物の均一排除⇒歩留向上）
・消耗ランス、水冷ランスチップ、駆動装置コストの削減
・比較的少ない設備投資（酵素バーナー/ランス兼用、ランス駆動装置不要）
※「CO-JET™ 」は、米国のプラックスエア社の製品であり、日本ではエア・ウォーターが販売代理店に指定されています。
アルゴンと酸素が最適に混合した
MAG溶接用のシールド
エルナックスは、エア・ウォーターの深冷空気分離プラントからアルゴンと酸素が混合した状態で高純度のまま採取する独自製法により、後混合のアルゴン・酸素混合ガスに比べて均質・安定品質で高い性能を誇ります。また、一般的な混合ガスのように採取後の混合プロセスが不要なため、コスト面においても経済的です。
供給方法
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液化ガスローリー
自動車関連など大量にご使用いただくお客様には、エルナックス専用の液化ガスローリー車によって納入いたします。 -
シリンダー/可搬式低温容器（LGC）
少量使用のお客様には、最寄りのエルナックス取扱充填所から、シリンダー/可搬式容器をトラック配送いたします。
アルミニウム・ステンレス鋼の溶接に特化したシールドガス
AWシールドは、アルゴンベースのオリジナル混合ガスで、独自の混合ガス成分を調整しており、材質・板厚などの細かな使用条件に応じた最適な溶接が可能です。現在、12種類のシリーズ製品をラインアップしており、MAG、MIG、TIG、プラズマなど各種溶接に対応しています。
AWシールド Iシリーズ
アルミニウム合金TIG溶接で溶け込み深さの増加
溶け込み深さを増加させ、溶接速度向上、
パス数削減を可能としています。
「MIXマスター」は、長年の溶接技術の蓄積から、エア・ウォーターが独自に開発した2成分系ガス混合装置です。2成分のガスを等圧にして混合することで、一般的なフロート式流量計による混合方式に比べ、高精度な混合が可能です。流量変動に対する混合濃度変動が小さく、混合精度は±1％です。
